芯片制造關(guān)鍵設(shè)備再突破 離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化

　　記者近日從中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司獲悉，該集團(tuán)旗下裝備子集團(tuán)已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案。

　　離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。據(jù)介紹，中國(guó)電科連續(xù)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)取翱ú弊印奔夹g(shù)，自主研制中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)，工藝段覆蓋至28nm，累計(jì)形成核心發(fā)明專利413項(xiàng)，實(shí)現(xiàn)中國(guó)芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展，有效緩解我國(guó)芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。(記者溫競(jìng)?cè)A)

　　轉(zhuǎn)自：新華社

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