中國電科實現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化

　　近日，中國電子科技集團(tuán)有限公司發(fā)布消息稱，該集團(tuán)旗下裝備子集團(tuán)已實現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案。

　　離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

　　據(jù)了解，中國電科連續(xù)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)取翱ú弊印奔夹g(shù)，自主研制中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)，工藝段覆蓋至28nm，累計擁有核心發(fā)明專利413項，實現(xiàn)我國芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展，有效地緩解了我國芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。

　　下一步，中國電科將瞄準(zhǔn)高端，緊跟先進(jìn)工藝發(fā)展，加快研發(fā)適用于更先進(jìn)工藝節(jié)點的離子注入機(jī)并積極推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化。(溫競?cè)A)

　　轉(zhuǎn)自：中國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導(dǎo)報

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