近日，中國(guó)恩菲和中硅高科共同承擔(dān)的超高純四氯化硅技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目，通過(guò)了中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)組織的專家成果鑒定。鑒定委員會(huì)專家一致認(rèn)為，該項(xiàng)目成果實(shí)現(xiàn)了多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅的綜合利用，提高了四氯化硅的產(chǎn)品附加值，整體技術(shù)水平達(dá)到國(guó)際先進(jìn)。
鑒定意見(jiàn)顯示，該項(xiàng)目自主研發(fā)了以多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅為原料，制備光纖用OVD級(jí)高純四氯化硅的吸附精餾提純工藝；以O(shè)VD級(jí)高純四氯化硅為原料，制備光纖用PCVD級(jí)超高純四氯化硅的光催化反應(yīng)精餾提純工藝。同時(shí)，該項(xiàng)目還開(kāi)發(fā)了超高純四氯化硅全自動(dòng)充裝技術(shù)和裝備、超高純四氯化硅產(chǎn)品密閉在線取樣系統(tǒng)等先進(jìn)的工藝及裝備技術(shù)，保證了產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性及檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
此外，該項(xiàng)技術(shù)成果已用于10000噸/年OVD級(jí)高純四氯化硅和100噸/年的PCVD級(jí)、半導(dǎo)體超高純四氯化硅生產(chǎn)裝置建設(shè)。（百川）
轉(zhuǎn)自：中國(guó)化工報(bào)
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