國內(nèi)商用12英寸全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)制成

　　日前，長春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司宣布，已研制成功國內(nèi)首臺(tái)商用12英寸全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)。

　　據(jù)了解，該產(chǎn)品是半導(dǎo)體 （包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一，其應(yīng)用可大幅度降低半導(dǎo)體元器件的制造成本。但由于技術(shù)門檻較高，目前市場處于雙強(qiáng)壟斷態(tài)勢，兩家日本公司東京電子和東京精密占據(jù)了全球絕大部分市場份額，韓國的同類產(chǎn)品也有一定的銷量。

　　為打破國外壟斷，長春光華公司于2015年正式立項(xiàng)開展12英寸全自動(dòng)探針臺(tái)產(chǎn)品的研發(fā)。經(jīng)過不懈努力，先后突破了全自動(dòng)上料機(jī)械手的設(shè)計(jì)、大行程微米級XY移動(dòng)平臺(tái)精密定位控制技術(shù)、高剛度高穩(wěn)定性探針接觸Z向移動(dòng)平臺(tái)精密控制技術(shù)、基于圖像識(shí)別的晶圓和探針精密測量和對準(zhǔn)技術(shù)、大數(shù)據(jù)量的信息處理和計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、高平面度和高熱穩(wěn)定性的晶圓承載盤技術(shù)等六項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，推出的第一代產(chǎn)品機(jī)，其安全性和可靠性已得到充分驗(yàn)證，從而具備了全面推向市場，替代國外進(jìn)口設(shè)備的能力。

　　相關(guān)權(quán)威專家還介紹說，作為國內(nèi)第一款商業(yè)化的12英寸全自動(dòng)晶圓測試探針臺(tái)，該產(chǎn)品各項(xiàng)性能指標(biāo)已達(dá)到或接近國際水平。更重要的是由于替代了進(jìn)口，還將極大地降低其采購及維護(hù)成本，并確保提供快速售后服務(wù)，進(jìn)而對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展產(chǎn)生積極的促進(jìn)作用。

　　需要特別提及的是，長春光華公司是中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所機(jī)電工程研究部于2002年轉(zhuǎn)制而成立的一家高科技公司，其中晶片電阻生產(chǎn)設(shè)備市場占有率達(dá)70%以上。（王斌）

　　轉(zhuǎn)自：中國工業(yè)報(bào)

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