國內(nèi)首條超高純鋁濺射靶基材生產(chǎn)線實現(xiàn)批量生產(chǎn)

　　在全國人民抗擊新冠肺炎疫情的關(guān)鍵時期，新疆眾和股份有限公司一手抓疫情防控，一手抓生產(chǎn)經(jīng)營。日前，該公司成功開發(fā)出了國內(nèi)領(lǐng)先的全套超高純鋁濺射靶基材生產(chǎn)工藝和技術(shù)，成為獨立于歐洲海德魯鋁業(yè)公司、日本住友化學(xué)體系公司外的第三條完整產(chǎn)業(yè)鏈。通過多方驗證，產(chǎn)品全面符合市場要求，成功實現(xiàn)了批量供貨。

　　高純?yōu)R射靶材是伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而興起的產(chǎn)業(yè)，因此，集成電路產(chǎn)業(yè)則是目前高純?yōu)R射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一。半導(dǎo)體靶材作為制備集成電路的關(guān)鍵原材料，也是技術(shù)要求最高的靶材，因此人們也將半導(dǎo)體用靶材基材制備稱為材料制備工業(yè)王冠上的明珠。

　　長期以來，雖然我國擁有鋁基生產(chǎn)濺射靶材所需的各種基礎(chǔ)礦源，但金屬提純技術(shù)卻主要由美國、日本、挪威、法國等國家掌握。國內(nèi)靶材廠商也僅僅只能通過國外進口獲得高純金屬及基材供應(yīng)，每年進口量達數(shù)千噸，價格較高且不能實現(xiàn)及時交貨。面對國外技術(shù)封鎖、國內(nèi)沒有相應(yīng)技術(shù)基礎(chǔ)的情況下，新疆眾和決定開啟超高純鋁濺射靶基材的研發(fā)之路。

　　新疆眾和作為我國鋁電子新材料研制企業(yè)，是國內(nèi)最早規(guī)模開發(fā)、生產(chǎn)高純鋁的企業(yè)，已經(jīng)積累了30余年的高純鋁 研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗。在新疆眾和針對超高純鋁濺射靶基材研發(fā)的10余年中，通過與集成電路相關(guān)企業(yè)承擔國家專項項目聯(lián)合研發(fā)，并建設(shè)超高純鋁濺射靶基材中試工廠，相繼克服了超高純鋁（5N5）規(guī)模生產(chǎn)過程中雜質(zhì)元素污染、產(chǎn)品表面質(zhì)量及內(nèi)部晶粒組織細化控制、氫含量必須小于0.1ppm、晶粒取向控制等一系列難題，最終打通了超高純鋁濺射靶基材的工藝技術(shù)，實現(xiàn)了鋁純度可達到99.9995%（5N5），成為國內(nèi)唯一一家可以規(guī)模生產(chǎn)超高純鋁濺射靶基材企業(yè)。

　　此外，新疆眾和與東北大學(xué)聯(lián)合申報的“潔凈、細晶5N5超高純鋁的制備關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項目還榮獲了2019年中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎一等獎。（劉建昊 席德雄）

　　轉(zhuǎn)自：中國有色金屬報

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