日前，由上海電氣集團(tuán)股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“上海電氣”）下屬上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司自主研發(fā)的具有世界先進(jìn)水平的首臺(tái)平板顯示6代投影曝光機(jī)正式發(fā)運(yùn)。這對(duì)我國(guó)的平板顯示制造產(chǎn)業(yè)及裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展都有重大意義。
長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)平板顯示制造的中高端設(shè)備主要依靠進(jìn)口，特別是投影曝光機(jī)。全球僅日本的尼康公司和佳能公司掌握了這一技術(shù)。上微6代投影曝光機(jī)的成功開(kāi)發(fā)，將徹底打破這一現(xiàn)狀。
應(yīng)用于平板顯示制造的投影曝光機(jī)極為復(fù)雜。該產(chǎn)品需要在1500mm×1850mm的區(qū)域內(nèi)制作只有五十分之一頭發(fā)直徑的線條，且每根線條的位置精度要控制在一百五十分之一頭發(fā)直徑以?xún)?nèi)。上微用系統(tǒng)工程管理思想和方法來(lái)組織推進(jìn)投影曝光機(jī)項(xiàng)目實(shí)施，堅(jiān)持用產(chǎn)品化、工程化思想來(lái)進(jìn)行產(chǎn)品研發(fā)，成功突破了投影曝光機(jī)的系統(tǒng)多、技術(shù)復(fù)雜性強(qiáng)、專(zhuān)利壁壘多等難題，成為全球第三家具備量產(chǎn)6代投影曝光機(jī)能力的公司，有力提升了我國(guó)高精密零件制造能力。
轉(zhuǎn)自：國(guó)資委網(wǎng)站
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