我國(guó)集成電路制造達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平

　　本報(bào)訊 ３月３日，國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”“十一五”成果發(fā)布會(huì)暨采購(gòu)合同簽約儀式在北京舉行。全國(guó)政協(xié)副主席、科技部部長(zhǎng)萬(wàn)鋼出席會(huì)議。

　　據(jù)該專項(xiàng)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，該專項(xiàng)實(shí)施以來(lái)，已在整機(jī)裝備、成套工藝和關(guān)鍵材料等方面初步掌握了一批制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)，帶動(dòng)了我國(guó)集成電路領(lǐng)域整體競(jìng)爭(zhēng)力的提升。

　　“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)是我國(guó)１６個(gè)科技重大專項(xiàng)之一，旨在通過(guò)開(kāi)展集成電路制造裝備、工藝、材料技術(shù)研究，掌握制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)，在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中培育世界級(jí)企業(yè)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平與世界同步，使我國(guó)成為世界集成電路產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國(guó)，并帶動(dòng)我國(guó)裝備制造業(yè)和材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展。該專項(xiàng)于２００８年啟動(dòng)實(shí)施，截至目前已經(jīng)立項(xiàng)５８?jìng)€(gè)項(xiàng)目，參與單位達(dá)１３３家，其中企業(yè)有８０余家，分布在北京、上海、江蘇等１８?jìng)€(gè)省市，目前該專項(xiàng)各單位已累計(jì)申請(qǐng)專利４２４８件，研發(fā)成果實(shí)現(xiàn)銷售收入超過(guò)１００億元，帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)近千億元。

　　據(jù)悉，在成套工藝方面，“６５納米成套產(chǎn)品工藝”整體研發(fā)完成并進(jìn)入批量生產(chǎn)，使我國(guó)集成電路制造首次達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。在裝備整機(jī)方面，多臺(tái)１２英寸關(guān)鍵整機(jī)產(chǎn)品及關(guān)鍵零部件實(shí)現(xiàn)突破，改變了長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷的被動(dòng)局面：我國(guó)自主研制的１２英寸６５納米介質(zhì)刻蝕機(jī)產(chǎn)品已獲得國(guó)內(nèi)外批量訂單２０臺(tái)，１２英寸６５納米柵刻蝕機(jī)通過(guò)全部工藝驗(yàn)證。

　　據(jù)該專項(xiàng)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，這些成果的取得大大縮短了我國(guó)與發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)的技術(shù)差距，極大地帶動(dòng)了國(guó)內(nèi)眾多集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)以及相關(guān)電子整機(jī)企業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)力的全面提升。

　　會(huì)上還舉行了采購(gòu)合同與合作協(xié)議簽約儀式。中芯國(guó)際、長(zhǎng)電科技、通富微電與設(shè)計(jì)企業(yè)簽訂合作協(xié)議；中芯國(guó)際、上海華力、長(zhǎng)電科技、通富微電與裝備、材料企業(yè)簽訂采購(gòu)合同與合約，涉及集成電路高端制造裝備產(chǎn)品１５臺(tái)（套）、封測(cè)裝備８７臺(tái)（套）以及系列材料產(chǎn)品，合同金額１０億元。

來(lái)源：中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導(dǎo)報(bào)

　　版權(quán)及免責(zé)聲明：凡本網(wǎng)所屬版權(quán)作品，轉(zhuǎn)載時(shí)須獲得授權(quán)并注明來(lái)源“中國(guó)產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)信息網(wǎng)”，違者本網(wǎng)將保留追究其相關(guān)法律責(zé)任的權(quán)力。凡轉(zhuǎn)載文章，不代表本網(wǎng)觀點(diǎn)和立場(chǎng)。版權(quán)事宜請(qǐng)聯(lián)系：010-65363056。

延伸閱讀