新型電機(jī)助推我國(guó)IC產(chǎn)業(yè)自主化發(fā)展

在6月28日召開的中國(guó)科協(xié)科技期刊月度研討會(huì)上，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)電磁與電子技術(shù)研究所寇寶泉教授、李立毅教授、張赫博士撰寫的論文《集成繞組結(jié)構(gòu)短行程直流平面電機(jī)》被重點(diǎn)推介。該論文提出了一種可應(yīng)用于光刻機(jī)超精密工件臺(tái)的平面電機(jī)新型結(jié)構(gòu)。

　　與會(huì)專家表示，這種基于音圈電機(jī)運(yùn)行原理的平面電機(jī)新結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)高精度、高頻響的定位運(yùn)動(dòng)，在光刻機(jī)超精密工件臺(tái)的應(yīng)用領(lǐng)域具有很高的研究?jī)r(jià)值。這一新發(fā)現(xiàn)，對(duì)我國(guó)光刻機(jī)及其關(guān)鍵配套部件的研制具有重要意義，將加快推進(jìn)我國(guó)集成電路（IC）產(chǎn)業(yè)的自主化進(jìn)程。

來(lái)源：中國(guó)工業(yè)報(bào)

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