關(guān)鍵IC制造裝備國(guó)產(chǎn)化獲重大突破

沈陽(yáng)拓荊科技有限公司承擔(dān)研制的國(guó)家02 重大科技專項(xiàng)暨國(guó)產(chǎn)12 英寸PECVD 樣機(jī)近日出廠。這是我國(guó)自主開(kāi)發(fā)研制的首臺(tái)12 英寸PECVD 設(shè)備。

12 英寸PECVD 設(shè)備是國(guó)際主流薄膜沉積設(shè)備，是芯片制造過(guò)程中四種最基本、最重要的設(shè)備之一。一直以來(lái)，12 英寸PECVD 技術(shù)都被歐美以及日本等國(guó)家所壟斷。此次首臺(tái)國(guó)產(chǎn)12 英寸PECVD 設(shè)備順利出廠，標(biāo)志著我國(guó)在集成電路高端設(shè)備研究和制造領(lǐng)域技術(shù)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，使我國(guó)IC 薄膜設(shè)備制造水平與國(guó)際IC 制造業(yè)主流技術(shù)水平保持同步，完善了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體重要裝備的產(chǎn)業(yè)鏈，打破了國(guó)外產(chǎn)品的市場(chǎng)壟斷和技術(shù)壟斷，使我國(guó)有能力在IC 高端設(shè)備市場(chǎng)上參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)，對(duì)提升我國(guó)IC 制造裝備的自主創(chuàng)新能力和核心競(jìng)爭(zhēng)力具有重要的戰(zhàn)略意義。

此次擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的12 英寸PECVD 設(shè)備樣機(jī)的成功研發(fā)，使沈陽(yáng)確立了在全國(guó)的集成電路裝備研發(fā)與制造領(lǐng)域同北京、上海三足鼎立的地位，這對(duì)調(diào)整遼沈地區(qū)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，創(chuàng)造新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)，推動(dòng)遼沈地區(qū)IC裝備制造產(chǎn)業(yè)化發(fā)展具有重大的意義。

　　版權(quán)及免責(zé)聲明：凡本網(wǎng)所屬版權(quán)作品，轉(zhuǎn)載時(shí)須獲得授權(quán)并注明來(lái)源“中國(guó)產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)信息網(wǎng)”，違者本網(wǎng)將保留追究其相關(guān)法律責(zé)任的權(quán)力。凡轉(zhuǎn)載文章，不代表本網(wǎng)觀點(diǎn)和立場(chǎng)。版權(quán)事宜請(qǐng)聯(lián)系：010-65363056。

延伸閱讀